天沐為大家科普一下,高溫壓力傳感器是將壓力轉(zhuǎn)換為電信號(hào)輸出的傳感器。通常由兩部分組成,即分別是敏感元件和轉(zhuǎn)換元件。其中敏感元件是指?jìng)鞲衅髦心軌蛑苯痈惺芑蝽憫?yīng)被測(cè)量的部分;轉(zhuǎn)換元件是指?jìng)鞲衅髦袑⒚舾性惺芑蝽憫?yīng)的被測(cè)量的應(yīng)變轉(zhuǎn)換成適于傳輸或測(cè)量的電信號(hào)部分。
由于傳感器的輸出信號(hào)一般很微弱,需要將其調(diào)制與放大。隨著集成技術(shù)的發(fā)展,人們又將這部分電路及電源等電路也一起裝在傳感器內(nèi)部。這樣,傳感器就可以輸出便于處理,傳輸?shù)目捎眯盘?hào)了。
在選擇高溫壓力傳感器的時(shí)候我們要考慮他的綜合精度,而造成傳感器誤差的因素有很多,下面我們主要說(shuō)四個(gè)無(wú)法避免的誤差,這也叫傳感器的初始誤差。
1、偏移量誤差
由于高溫壓力傳感器在整個(gè)壓力范圍內(nèi)垂直偏移保持恒定,因此變換器擴(kuò)散和激光調(diào)節(jié)修正的變化將產(chǎn)生偏移量誤差。
2、靈敏度誤差
產(chǎn)生誤差大小與壓力成正比。如果設(shè)備的靈敏度高于典型值,靈敏度誤差將是壓力的遞增函數(shù)。如果靈敏度低于典型值,那么靈敏度誤差將是壓力的遞減函數(shù)。該誤差的產(chǎn)生原因在于擴(kuò)散過(guò)程的變化。
3、線性誤差
這是一個(gè)對(duì)高溫壓力傳感器初始誤差影響較小的因素,該誤差的產(chǎn)生原因在于硅片的物理非線性,但對(duì)于帶放大器的傳感器,還應(yīng)包括放大器的非線性。線性誤差曲線可以是凹形曲線,也可以是凸形曲線。
4、滯后誤差
在大多數(shù)情形中,高溫壓力傳感器的滯后誤差完全可以忽略不計(jì),因?yàn)楣杵哂泻芨叩臋C(jī)械剛度。一般只需在壓力變化很大的情形中考慮滯后誤差。
高溫壓力傳感器的這個(gè)四個(gè)誤差是無(wú)法避免的,我們只能選擇高精度的生產(chǎn)設(shè)備,利用高新技術(shù)來(lái)降低這些誤差,還可以在出廠的時(shí)候進(jìn)行一定的誤差校準(zhǔn),盡最大的可能來(lái)降低誤差。